Pura高純氣露點變送器、在線露點傳感器、露點測量儀

更新時間： 2025-11-08
產品型號：
簡單描述
Pura高純氣露點變送器、在線露點儀在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。

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詳細介紹

Pura高純氣在線露點傳感器、在線露點儀在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppb_V)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的*適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。

亮點

測量下限 -120°C 露點 (1 ppb_V)
測量穩定，重復性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設計緊湊小巧
顯示/報警單元可選

技術指標

傳感器
傳感器類型	密析爾陶瓷濕度傳感器
量程	-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率	0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力	zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa
氣體流量	1 ~ 5 Nl/min
電氣